摘要:讨論了(le)金屬管浮子(zi)流量計 加裝(zhuāng)阻尼器在多(duo)晶矽生産中(zhong)的應用方案(àn),并對流量🤩計(ji)使🍓用阻尼器(qi)前後的效果(guo)作了對比。
1金(jīn)屬管浮子流(liu)量計的工作(zuo)原理及一般(ban)應用
　　轉子流(liú)量計 ,又稱浮(fu)子流量計,金(jīn)屬浮子流量(liàng)計由于其結(jie)構簡單，可🔞靠(kào)性強,可輸出(chu)标準信号,并(bing)能實現流量(liang)的指🌈示、積算(suàn)、記錄.控制和(he)☁️報警等多種(zhong)功能,所以在(zai)工，業生産中(zhōng)被廣泛應用(yòng)。
1.1金屬管浮子(zǐ)流量計的工(gōng)作原理
　　金屬(shǔ)管浮子流量(liàng)計采用可變(bian)面積式測量(liàng)原理。llj 主要由(yóu)三部分組成(chéng):測量管、浮子(zi).耦合指示系(xì)統。如原理圖(tú)所示,相對應(yīng)測量介質的(de)某--流量。磁性(xing)浮子在測量(liàng)管中對應一(yī)個浮子位置(zhì).這個浮子位(wèi)置通過指示(shi)器中的經過(guò)充磁的磁耦(ǒu)合指示系統(tong)帶動指🈲針,由(you)刻度盤和指(zhi)針讀出相應(yīng)的流量計。也(ye)可配裝不同(tong)的轉換器.将(jiang)流量值轉換(huàn)💋成标準的電(dian)遠傳信号,從(cong)而實🧑🏽‍🤝‍🧑🏻現遠距(jù)離顯示、記錄(lu)、積算🈲和控制(zhì)功能。金屬管(guan)轉子流量計(jì)在耦合指示(shì)系統的設計(jì)上可以爲各(gè)種應用場合(hé)提供❄️可靠适(shi)用的功能組(zu)合,如現場指(zhi)針顯示、LCD顯示(shi)瞬時和累計(jì)流量等。在指(zhǐ)示器供電選(xuan)擇方面有電(dian)池供電、24VDC供電(dian)、220VAC供電,方式根(gēn)據現場🏃情況(kuang)選擇。
 
1.2金屬管(guan)浮子流量計(jì)的一般應用(yong)
　　工業上常用(yong)的流量計除(chú)了金屬轉了(le)流量計外，還(hai)有 差壓流量(liàng)計 、 渦街流量(liang)計 、 電磁流量(liàng)計 、 超聲波流(liú)量計 、 渦輪流(liu)量計 、 橢圓齒(chǐ)輪流量計 等(děng)。每種流量計(ji)在針對不同(tóng)的被測流體(ti)、不同的流動(dong)狀态、不同的(de)測量場所,各(ge)有其優勢和(he)劣勢.比如在(zài)流速不同的(de)場合中,中🧑🏾‍🤝‍🧑🏼高(gāo)流速下的流(liú)量測量已有(you)孔闆.渦街等(deng)多種流量計(jì)能夠實現正(zhèng)确測量,而在(zai)較低流速、較(jiao)高壓力的流(liu)量測量中,尤(you)其低雷諾💃系(xi)數的情況下(xia).金屬管浮子(zi)流盤計就起(qi)到非常重💰要(yao)的作用。
 
2金屬(shǔ)管浮子流量(liang)計加裝阻尼(ní)器在多晶矽(xī)生産中的應(ying)用
2.1阻尼器的(de)工作原理
　　使(shǐ)自由振動衰(shuai)減的各種摩(mo)擦和其他阻(zǔ)礙作用，我們(men)稱🧡之爲阻尼(ní)。而可以提供(gòng)運動的阻力(li),耗碰運動能(neng)量的裝置,我(wo)們稱爲阻尼(ní)器。目前各種(zhǒng)應用中有✉️:彈(dàn)貧阻尼器、液(yè)壓阻尼器、粘(zhān)滞阻尼器.氣(qì)阻尼器、電磁(ci)阻尼器等。
2.2金(jīn)屬管浮子流(liu)量計在使用(yòng)中出現的問(wèn)題
　　轉子流量(liang)計在多晶矽(xi)生産現場使(shǐ)用過程中,由(you)于🤟測量介‼️質(zhì)💜瞬間流量過(guò)小或不穩定(dìng)、操作壓力低(dī)或不穩定,儀(yí)表前🈲後測量(liang)管道内徑變(bian)化過大，前後(hòu)直管段嚴重(zhòng)不符合使用(yong)🔞規定要求，尤(yóu)其是測量介(jie)質爲氣體等(deng)情況下會造(zào)成流量計測(ce)量管内介質(zhì)流動極不穩(wen)定,引起浮子(zi)發生跳動的(de)現象。浮子的(de)垂直上下直(zhi)線運動通過(guò)磁耦合系統(tong)傳遞、傳化爲(wèi)指🚩針軸的轉(zhuǎn)動運行,與指(zhǐ)針軸組合成(chéng)🔞一-體的指針(zhen)轉動從而擡(tái)示介質的瞬(shun)時流量。流量(liàng)計測量管中(zhōng)浮子發生的(de)跳動現象傳(chuán)遞給指👈針,就(jiù)變成爲指針(zhen)連♻️續不停頓(dùn)的擺動現象(xiàng)，造成流量指(zhi)示不🈲穩定,甚(shèn)至根本不能(neng)讀取刻度值(zhí),确定瞬時流(liú)量數值。如果(guo)現場出現這(zhe)種現象,通常(cháng)的處理方法(fǎ)是分析造成(cheng)指針擺動的(de)主要原因,多(duō)數情況下從(cong)多晶💯矽生産(chan)工藝上采取(qǔ)措施,改善介(jiè)質流動狀況(kuang)💘,從而減少、避(bi)免指針的擺(bǎi)動。但是很多(duo)時候指針擺(bai)動的頻率、幅(fú)度很難從根(gēn)本.上避免、降(jiàng)低。
2.3氣阻尼器(qi)在金屬管浮(fú)子流量計中(zhōng)的應用
　　在儀(yí)表測量管中(zhōng)加裝氣阻尼(ní)器成爲解決(jue)浮子跳動,指(zhi)針擺動的有(you)效方法之一(yi)。該裝置包括(kuò)氣阻尼頭與(yǔ)氣阻尼套,二(èr)者爲間隙配(pèi)合,二者間形(xing)成的腔體中(zhong)充滿測量介(jiè)質,當浮子向(xiang)上或向下運(yun)動時,測🙇‍♀️量介(jiè)質必❄️須排出(chu)或💛進人腔體(tǐ),由于阻尼頭(tou)與阻尼套之(zhi)間間隙很小(xiao)，測量介質排(pai)出或進人腔(qiang)體的速💋度滞(zhì)後于浮子向(xiang).上或向下運(yùn)動的速度.從(cong)而起到🈚阻尼(ni)效果🥰,降低.浮(fu)子向.上或向(xiàng)下運動的速(sù)度,過低指針(zhen)擺動的頻率(lǜ)、幅🈲度。
2.3.1氣阻尼(ní)器使用中需(xū)要注意的問(wen)題。
　　現有阻尼(ni)裝置中的氣(qì)阻尼頭與阻(zu)尼套之間的(de)配合爲面接(jie)觸.與流量計(ji)測量管與介(jiè)質流動極不(bú)穩定,引🤩起浮(fú)子發生跳動(dong),加之加工誤(wù)差,常會使氣(qi)阻尼頭随浮(fu)子導向.杆産(chǎn)生偏移⁉️.導緻(zhì)氣阻尼頭過(guo)快⭐的磨損，嚴(yán)重時使氣阻(zǔ)尼套卡住,影(yǐng)響阻尼效果(guo),縮短氣阻尼(ní)裝置的使用(yòng)壽命。
2.3.2解決方(fāng)案。
　　爲了解決(jue)可能存在的(de)不足,可采用(yòng)了以下新技(ji)術🌂。改變氣阻(zu)尼頭與氣阻(zu)尼套之間的(de)配合方式,使(shǐ)之配合的表(biao)面形狀爲球(qiu)面,球面的圓(yuan)心在氣阻尼(ni)頭與氣阻🌍尼(ní)套配合的中(zhōng)軸線上㊙️,使氣(qi)阻尼頭與氣(qì)阻尼套之間(jian)的配合爲線(xiàn)性接觸。當氣(qì)阻尼☔頭随浮(fu)子☎️導向杆産(chǎn)生偏移時,氣(qì)阻尼頭與氣(qì)阻尼套之間(jiān)的配合始終(zhong)是線接觸，既(ji)可防止氣阻(zǔ)尼頭與氣阻(zu)尼套卡住.義(yì)使氣阻尼頭(tou)磨🙇‍♀️損平均,延(yan)長了氣阻尼(ní)裝置使用壽(shòu)命。
 
2.4電磁阻尼(ní)器在金屬管(guǎn)浮子流量計(ji)中的應用
　　由(you)于轉子流量(liàng)計的測量管(guan)爲機械結構(gou).測量時對波(bo)🏒動很敏感,經(jing)常會出現指(zhǐ)針波動嚴重(zhong),甚至影響讀(du)數的情況。除(chu)了在測量管(guǎn)中加裝氣阻(zǔ)尼器之外,還(hai)可以在指針(zhēn)組件中✏️增加(jia)電磁阻尼器(qì),使指針擺動(dòng)的頻率、幅度(dù)大幅度降低(dī)，使📞指針指示(shì)穩定，刻度值(zhi)讀取變得容(róng)易，讀取精度(du)更高。
　　電磁阻(zǔ)尼器的工作(zuò)原理。電磁阻(zu)尼器由磁鋼(gang)、連接件、金💋屬(shu)闆等✍️組裝後(hòu)爲一體。指針(zhēn)的配重爲導(dǎo)電金屬鋁合(hé)金,根據電磁(cí)感應㊙️定律,配(pèi)重在磁場中(zhōng)運動，切割磁(cí)力線.必然産(chǎn)生感應電動(dong)勢,從而在配(pèi)重中産生渦(wo)電流;磁場對(dui)帶電導體必(bi)然産生作用(yong)力,而🏃此作用(yòng)力恰好起到(dào)阻礙配重在(zai)磁場📧中運動(dong)的作用,配重(zhòng)運動🙇🏻的速度(dù)越大,産生的(de)反作用也越(yuè)大,其效果類(lei)似于阻尼器(qi),從而使電磁(ci)阻尼器起到(dao)降低指針擺(bai)動頻率、幅度(dù)🏃‍♂️的作用.達到(dào)穩定的✍️效果(guo)。
 
　　與現有技術(shu)相比，通過增(zeng)加電磁阻尼(ní)器裝置,可有(yǒu)效改👉善🌈流量(liang)計的使用效(xiào)果，使指針的(de)擺動頻率和(he)🈲幅度大幅🔞度(du)降低，指👈針穩(wen)定指示,刻度(du)值的讀取變(bian)得容易，讀取(qǔ)精度提高,既(jì)提高了效率(lü)也保證了精(jing)度。

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