|
敏感元件是能夠(gòu)靈敏地感受被測(ce)變量并作出響應(ying)的元件🐆。如:彈性膜(mó)盒能感受壓力的(de)高低而引起形變(biàn),形變🤩的程🌈度就是(shi)對壓力高低的響(xiǎng)應,因此,彈性膜盒(hé)是一種🤟壓力敏感(gan)元件⭐。
傳感器不但(dan)應該對被測量敏(min)感,而且具有把它(tā)對🌈被測量的響應(yīng)傳送出去的功能(neng)。也就是說,傳感器(qì)不隻是一般的♍敏(mǐn)感元件,它的輸出(chu)響應還必須是易(yì)于傳送的物理量(liàng)。例💚如:上訴的彈性(xìng)膜盒的輸出響應(yīng)是形變,是微小的(de)幾何量,不便于向(xiang)遠方傳送。如果把(ba)膜盒中心的位移(yí)轉變爲電容極闆(pǎn)的間隙變化,就成(chéng)爲輸出響應是電(dian)容量的
壓力傳感(gǎn)器。
由于電信号便(bian)于傳送,所以絕大(da)多數傳感器的輸(shu)☀️出是電量的形式(shi),如電壓、電流、電阻(zu)、電感、電容、頻率等(děng)。
變送器是從傳感(gan)器發展而來的,凡(fán)能輸出标準信⛹🏻♀️号(hào)⁉️的傳感器就稱爲(wei)變送器。(标準信号(hào)是物理量的形式(shi)和數值範圍都符(fu)合标準的信号。例(li)如直流4~20mA)有了統一(yi)的信号㊙️形式和數(shù)值範‼️圍,就便于把(ba)各種變♈送器和其(qí)他儀表組成檢測(cè)系統或調節系統(tǒng)。
輸出爲非标準信(xìn)号的傳感器,必須(xu)和儀表或裝置🔴配(pei)套🏃,才🈲能實現檢測(cè)或調節功能。爲了(le)通用性和靈活性(xing),某些🍓傳感器的輸(shū)出可以靠轉換器(qì)把非标準信号轉(zhuǎn)換成标⛷️準信号,使(shi)之與帶有标準信(xìn)号的輸入電路或(huò)接口的儀表配套(tào)。不同的标準信号(hao)也可🌈借助于轉換(huan)器互相轉換。例如(ru)利用氣/電轉換器(qì),能把20~100 kPa的空氣壓👌力(lì)轉換成0~10mA的直流電(dian)流。
位式作用和連(lian)續作用:
位式作用(yòng),也稱爲開關作用(yòng),即傳感器在輸入(ru)變量整個變化範(fan)圍内其輸出相應(yīng)隻有兩種狀态,例(lì)如空氣狀态的“高(gao)”和“低”。
位式作用的(de)傳感器多用于被(bei)測變量的超限報(bao)警、連鎖保護❄️、順序(xù)控制。例如我們的(de)壓力開關。
需要連(lian)續檢測或調節某(mǒu)些變量時,就必須(xu)用連續作用的傳(chuán)感器或變送器。
長(zhǎng)野的變送器中所(suǒ)使用的傳感器SS—蒸(zhēng)發型半導體應變(biàn)片的特點:
(1)相對于(yú)粘貼式和擴散式(shì)技術。
(2)其可測壓力(li)範圍 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
(3)具有耐用性(xìng)和穩定性。
半導體(ti)應變片的制作方(fang)法:粘貼方式、蒸發(fā)方式、擴散👨❤️👨方式。
長(zhǎng)野的變送器,如KM31、KM10 等(deng),其半導體應變片(piàn)部分、感應元件(不(bú)鏽鋼隔膜)以及壓(ya)力接口部分通過(guò)焊接連接成一體(ti),具有很高的穩定(dìng)✌️性和可靠性,抗震(zhen)性和抗沖擊性良(liang)好。
蒸發式半導體(ti)應變片的具體制(zhì)作方式如下:
(1)在不(bu)鏽鋼隔膜上使用(yòng)CVD等離子沉澱一層(céng)SiO2絕緣膜
(2)在SiO2絕緣膜(mo)上再沉澱一層多(duō)晶矽。
(3)在多晶矽上(shang)使用激光蝕刻,應(ying)變片成型 。
(4)用電子(zǐ)束照射蒸鍍,配上(shàng)金制電極。
(5)再使用(yong)CVD等離子沉澱一層(ceng)SiNx保護膜。
根據傳感(gǎn)器或變送器的安(ān)裝場所有無易燃(ran)易爆氣體🥰及危險(xian)程度,選擇隔爆型(xing)及本安型。
(1)隔爆型(xing)在内部電路和周(zhōu)圍易燃氣體之間(jiān)采取了隔離措🤞施(shi),允許使用在有一(yi)定危險性的環境(jing)裏 。
(2)本安型即本質(zhi)安全型的簡稱,依(yī)靠設計的電路保(bao)證在正常工作及(ji)故障(意外短路或(huò)斷路)狀态下都不(bú)會引起燃爆事故(gù),可用在十分易燃(rán)易爆的場所。
|