摘要：金(jin)屬轉子流(liu)量計 作爲(wei)面積式流(liu)量計的一(yi)種，具有簡(jian)單、直觀、對(dui)介質條件(jian)要求低等(deng)特點，使其(qi)在高溫高(gao)壓、強腐蝕(shi)介質等惡(e)劣流量測(ce)量環😘境下(xia)被廣泛使(shi)用，因此對(dui)流量計的(de)維🙇‍♀️護保養(yang)成爲保證(zheng)測量數據(ju)客觀準确(que)的重要手(shou)段。尤☎️其是(shi)金屬轉子(zi)表面附着(zhe)物直接影(ying)響了測量(liang)精度，對金(jin)屬轉子的(de)清洗成爲(wei)流量計維(wei)護保養的(de)重要環節(jie)。本文着重(zhong)讨論等金(jin)屬流量計(ji)葉片清洗(xi)方法及等(deng)離🤩子清洗(xi)技術清洗(xi)轉子葉片(pian)的可操作(zuo)性。
　　金屬轉(zhuan)子流量計(ji)的使用較(jiao)爲廣泛，在(zai)易燃、易爆(bao)、高溫、高壓(ya)和強腐蝕(shi)介質環境(jing)中都可使(shi)用。由于測(ce)量檢測環(huan)境惡劣😘，爲(wei)保㊙️證測☎️量(liang)精度，流量(liang)計在投用(yong)前準備、使(shi)用中的維(wei)護和停用(yong)後需進行(hang)👨‍❤️‍👨清洗保養(yang)。對轉子這(zhe)種🌈微小精(jing)密🚶‍♀️部件的(de)清洗通常(chang)使用化學(xue)試劑清洗(xi)法及電磁(ci)感應法。試(shi)劑清洗易(yi)㊙️産生化學(xue)反應效應(ying)，電磁感應(ying)法則産生(sheng)電化學現(xian)象、極化電(dian)勢和觸媒(mei)作❌用，都會(hui)影響流量(liang)計的測量(liang)精度甚至(zhi)産🈲生‼️二次(ci)污染破壞(huai)流量計[1]。
　　等(deng)離子清洗(xi)是一種全(quan)新的高科(ke)技技術，利(li)用等離🥰子(zi)體轟💔擊被(bei)清洗物表(biao)面來達到(dao)常規清洗(xi)方法無法(fa)達到的效(xiao)果。等離子(zi)清㊙️洗在橡(xiang)膠塑料、汽(qi)車、電子、醫(yi)療、紡織纖(xian)維乃至航(hang)空航天領(ling)域已得到(dao)廣泛使用(yong)。本文将結(jie)合等離子(zi)清洗的優(you)勢特點，讨(tao)論等離子(zi)清洗轉子(zi)葉片的可(ke)行性及技(ji)術優勢，爲(wei)維護金🐇屬(shu)轉子流量(liang)計提供安(an)全實用的(de)方式方法(fa)[2]。
1流量計量(liang)技術及流(liu)量計
　　能量(liang)轉換是一(yi)切生産過(guo)程和科學(xue)實驗的基(ji)礎，流量和(he)壓力、溫度(du)并列稱爲(wei)三大檢測(ce)參數。對于(yu)已知流體(ti)🔴，隻要掌握(wo)這三個參(can)數就可通(tong)過計算得(de)出其具有(you)的能量，所(suo)以在能量(liang)轉換的測(ce)量中必須(xu)準确💋測量(liang)這三個參(can)數。因此流(liu)量計和壓(ya)力、溫度儀(yi)表一👅樣成(cheng)爲非常重(zhong)要的應用(yong)。
1.1流量計現(xian)狀、分類與(yu)常用術語(yu)
　　測量流體(ti)流量的儀(yi)器爲流量(liang)計，可測量(liang)流量的體(ti)積和質量(liang)。進入新世(shi)紀，由于工(gong)業發展對(dui)能量計算(suan)的需求急(ji)劇增長，促(cu)使流量儀(yi)表在測量(liang)原理逐漸(jian)成熟背景(jing)下發展出(chu)多種類型(xing)穩定可靠(kao)的産品。
　　傳(chuan)統流量計(ji)有 差壓式(shi)流量計 、容(rong)積式流量(liang)計、 浮子流(liu)量計 、葉輪(lun)式流量計(ji)以及插入(ru)式流量計(ji)。新型流量(liang)計有 超聲(sheng)波流量計(ji) 、流體振動(dong)流量計、科(ke)裏奧利質(zhi)量流量計(ji)、熱式流量(liang)🔞計、電磁流(liu)量計等。雖(sui)然現有流(liu)量計種類(lei)衆多并各(ge)具特點，但(dan)是研發一(yi)種适應所(suo)有測量需(xu)求的流量(liang)計依然是(shi)業界追求(qiu)的目标[3]。
　　流(liu)量計常用(yong)術語有流(liu)量範圍、儀(yi)表系數、流(liu)量系數、壓(ya)力損失、線(xian)性度、誤差(cha)與精度、重(zhong)複精度。
1.2轉(zhuan)子流量計(ji)結構
　　轉子(zi)流量計主(zhu)要由表頭(tou)與主體兩(liang)部分組成(cheng)，主體😘結構(gou)如圖🧑🏽‍🤝‍🧑🏻1所示(shi)。

1.3轉子(zi)流量計工(gong)作原理及(ji)誤差特性(xing)
　　轉子流量(liang)計一部分(fen)是由下至(zhi)上逐漸擴(kuo)大的錐管(guan)，另💋一部分(fen)是☁️錐管中(zhong)可以上下(xia)自由移動(dong)的轉子。工(gong)作中被測(ce)🌍流體經錐(zhui)管下端流(liu)入沖擊轉(zhuan)子所産生(sheng)的作用力(li)将轉子托(tuo)起升高。同(tong)時，被測流(liu)體流經錐(zhui)形管壁間(jian)🔆的環形斷(duan)面，從上端(duan)🈲流出。轉子(zi)🈲受力處于(yu)平衡狀态(tai)停留在某(mou)一高👈度位(wei)置與所通(tong)過的流量(liang)有相對應(ying)的關系。所(suo)以，通過觀(guan)🔞測轉子在(zai)錐形管中(zhong)的位置來(lai)求得當時(shi)的流‼️量值(zhi)。
流量計基(ji)本誤差表(biao)示爲：由于(yu)實測時V是(shi)未知的，所(suo)以常用相(xiang)對誤差來(lai)表示：

　　V=Nv式中(zhong)I流量計示(shi)值；V實際通(tong)過流量計(ji)值；N計量元(yuan)件旋⛷️轉次(ci)數；v每轉一(yi)周排除流(liu)體體積。
2流(liu)量計維護(hu)
　　流量計的(de)維護中對(dui)儀器設備(bei)元件的清(qing)洗是保證(zheng)其正☁️常工(gong)作的重要(yao)手段。安全(quan)的維護保(bao)養工作可(ke)保證儀器(qi)的測量精(jing)💋度，延長使(shi)用壽命，減(jian)少對工作(zuo)、自然環境(jing)污染。
2.1等離(li)子清洗技(ji)術
　　等離子(zi)清洗plasmacleaner也叫(jiao)等離子表(biao)面處理。等(deng)離子體是(shi)物⛹🏻‍♀️質的第(di)♉四🤞态，不同(tong)于物質的(de)固液汽三(san)态，等離子(zi)體包括👅離(li)子、電子、原(yuan)子、活性基(ji)團、激發态(tai)的核素(亞(ya)穩态)、光子(zi)等。等離子(zi)清洗即是(shi)利用這些(xie)活性組分(fen)來處理清(qing)洗物表面(mian)，實現清潔(jie)、塗覆、改性(xing)、光刻膠灰(hui)化的目的(de)。其工作原(yuan)理是在真(zhen)空腔室中(zhong)，射頻電源(yuan)在壓力下(xia)起輝産生(sheng)無序的高(gao)能☀️量等離(li)子體轟🈲擊(ji)被清洗物(wu)體表面。
　　清(qing)洗結構由(you)控制單元(yuan)、真空腔及(ji)真空泵組(zu)成。其中🌈控(kong)🤟制電源🥰頻(pin)率有40KHz、13.56MHz、2.45GHz三種(zhong)，系統控制(zhi)有半自動(dong)控制、電腦(nao)控制、PLC控制(zhi)。真空腔由(you)不鏽鋼及(ji)石英腔兩(liang)種材質，真(zhen)空泵也分(fen)幹泵和油(you)⭕泵兩種。
2.2等(deng)離子清洗(xi)技術優勢(shi)
⑴經等離子(zi)清洗後被(bei)清洗物是(shi)幹燥的，無(wu)需像其它(ta)清洗方法(fa)再進行幹(gan)燥處理，提(ti)高效率。⑵使(shi)操作者遠(yuan)😍離有害試(shi)🏃劑的♻️危害(hai)，降低對環(huan)境的污染(ran)。⑶避免濕法(fa)清洗的直(zhi)接接觸使(shi)微小精密(mi)部件破損(sun)變形。⑷等離(li)子體的無(wu)序性使它(ta)💃🏻可以深入(ru)清洗微細(xi)孔眼及凹(ao)陷部位，對(dui)清洗物形(xing)狀沒有要(yao)求且清洗(xi)效果優于(yu)🔴試劑清洗(xi)。⑸工藝流程(cheng)短，隻有幾(ji)分鍾，極大(da)提高效率(lü)。⑹工作真空(kong)條件約100Pa，容(rong)易達到要(yao)求，設備成(cheng)本低性價(jia)比高于有(you)機溶劑洗(xi)發。⑺适用材(cai)料廣泛，金(jin)屬、半導體(ti)、氧化物、聚(ju)氯乙烯、聚(ju)四🌈氟乙烯(xi)、聚酰亞胺(an)、聚酯、環氧(yang)樹脂等高(gao)聚物都🤟可(ke)以适用等(deng)離子體處(chu)理。⑻可改善(shan)☎️材料表面(mian)性能，提高(gao)潤濕性和(he)膜粘着力(li)等。
2.3等離子(zi)清洗技術(shu)應用
　　清洗(xi)設備産生(sheng)的等離子(zi)體在真空(kong)環境下的(de)活性能量(liang)幾乎破壞(huai)所有的化(hua)學鍵，在所(suo)有暴露表(biao)面引起化(hua)學反應。清(qing)洗過程中(zhong)，無機氣體(ti)被激發爲(wei)等離子态(tai)，氣相物質(zhi)🌈吸附在固(gu)體表面，被(bei)吸附基團(tuan)與固體表(biao)面分子解(jie)析形🐉成氣(qi)相，反🎯應殘(can)餘物脫離(li)表面。
　　實驗(yan)中，金屬轉(zhuan)子葉片上(shang)的水、泥附(fu)着物徹底(di)得到清除(chu)🏃‍♂️，去除表💞面(mian)難揮發油(you)污，提高了(le)表面活性(xing)。通過測量(liang)，轉子的重(zhong)量、顯微形(xing)狀、表面平(ping)整度都沒(mei)有明☎️顯變(bian)化。使用效(xiao)果全方位(wei)優于試劑(ji)清洗法。
3結(jie)語
　　等離子(zi)清洗技術(shu)在橡膠行(hang)業應用也(ye)非常成熟(shu)，實驗中借(jie)鑒其🍓它行(hang)業領域的(de)應用經驗(yan)，解決了清(qing)洗金屬轉(zhuan)子流量計(ji)體積小、形(xing)狀特殊、易(yi)腐蝕變形(xing)等難題。使(shi)清洗轉子(zi)葉片達到(dao)高效、簡單(dan)、安全的目(mu)的。使離子(zi)清洗技術(shu)的應用更(geng)加🍓普及并(bing)拓寬了範(fan)圍🈲。

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